在广州,增芯12英寸先进MEMS传感器及特殊工艺晶圆制造量产线项目,自2022年年底动工起,仅用9个月零6天完成自桩基启动至主厂房封顶建设,封顶仅5个多月后,又在今年3月迎来光刻机进场,预计今年6月将完成首批设备安装,今年12月底完成第一个有良率的产品下线……
在粤港澳大湾区,半导体与集成电路产业的这些项目建设,对大部分人而言或许有点“神秘”,似乎只是科研人员的专属领域。然而,它却又切切实实地存在于每个人触手可及的地方,从我们每天都会打交道的电脑、电视、手机,到航天航空、医疗卫生、交通运输等领域,几乎都离不开它,可以说是“无孔不入”。
作为制造业大省,广东的电子信息产业规模连续33年位居全国首位,手机、电视、无人机等产品产量均居全国第一。如何谋划布局半导体与集成电路产业?今年印发的《广东省培育半导体及集成电路战略性新兴产业集群行动计划(2023-2025年)》提到,到2025年,半导体及集成电路产业年主营业务收入突破4000亿元,年均增长超过22%。
营收倍增
四年增长1500亿元
作为全国电子信息产业第一大省,广东在消费电子、通信、人工智能、汽车电子等领域拥有国内最大的半导体及集成电路应用市场,集成电路进口金额占全国的40%左右。在国际技术封锁及国内区域竞争加剧的背景下,人才短缺、对外依存度较高等问题成了产业发展的短板,“卡脖子”和“断链”的隐忧频现。
提升关键核心技术研发能力、补齐产业链短板,变得至关重要。2020年,广东为战略性产业集群发展绘出“路线图”,半导体及集成电路产业正是其中之一。根据当时的行动计划,2019年集成电路产业主营业务收入超过1200亿元,计划到2025年,年主营业务收入突破4000亿元。
2021年,广东印发的《广东省制造业高质量发展“十四五”规划》更是提出要打造中国集成电路产业发展第三极,并描画出“强芯行动”的详细“广东路径”——做大做强设计业,加快补齐制造业短板,重点发展模拟芯片、功率器件和第三代半导体等,大力引进和培育封测、设备、材料等领域龙头企业,增强产业链供应链自主可控的发展能力。
距离最初许下的这些目标有多远?今年5月,广东省工业和信息化厅电子信息处相关负责人给出的最新数据显示,2023年广东省半导体及集成电路产业集群营收超2700亿元,已在高端模拟、化合物半导体、MEMS传感器等特色工艺方面布局一批重大产线项目,基本形成以广州、深圳、珠海为核心,带动佛山、东莞等地协同发展的“3+N”产业格局。
与数据对应的,是不断落户粤港澳大湾区的一个个重大项目。今年3月,项目投资35亿元的深圳清溢光电股份有限公司“平板显示及半导体用掩膜版”生产基地项目在佛山开工,填补了佛山在显示和半导体掩膜版领域的空白。“佛山是中国的重要工业基地,选择在这里建设生产基地,是清溢光电经过深思熟虑后的重要决策。”清溢光电董事、总经理吴克强说。
俯瞰广东,一批战略性产业项目星罗棋布,正带动产业“狂飙”。今年1-4月,广东集成电路产量增长39.5%。在广东省发展改革委此前公布的2024年重点建设项目计划表名单中,半导体与集成电路产业相关投产项目、继建项目、新开工项目累计超过30个,涵盖第三代半导体、封装测试、相关原材料、辅助材料等领域。
产业沃土
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“广东作为应用大省,芯片需求量巨大,但相比北京和长三角,半导体和集成电路产业的头部企业还是比较少,在行业里有影响力的企业不够多,产业聚集度和产业链完善方面不够。”西安电子科技大学广州研究院副院长马博分析,要高质量发展广东的半导体和集成电路产业,招商引资方面必须下功夫。
对标广东打造集成电路产业发展第三极的目标,部分地市也在推“政策”、强“招商”。在重点建设项目计划表名单中,项目落地地市涵盖广州、深圳、佛山、珠海、东莞、中山、江门等,其中,东莞在去年出台16条政策支持半导体及集成电路产业,广州今年提出成为打造国家集成电路产业发展“第三极”的核心承载区,等等。
在各地的“招数”中,相较于产业政策支持,营商环境也是重要一环。“清溢光电项目在去年12月签订合作协议,两周后取得首个地块,66天取得规划许可证,并成为佛山市亩均投资强度最高的产业项目。”佛山市南海区委书记顾耀辉说,南海区一直把营商环境作为招商引资的生命线,全力以赴为项目提供最优服务、创造最好环境。
南海区已先后引进信扬科技、汇芯半导体、鸿浩半导体等项目,自主培育出华特气体、希荻微电子、联动科技、佛智芯微电子等企业,覆盖半导体产业的材料、设计和封测等环节,初步形成了“小而精”的南海半导体发展模式。今年4月,该区还设立了半导体与集成电路产投基金,一期规模1.2亿元。
“2021年,我也曾站在这里,拿着手机拍过几张照片,那时还是杂草可齐腰、牛羊在吃草的田园景象。”广州增芯科技有限公司董事长陈晓飞回忆,增芯项目经过了9个月土建封顶,12个月首台套设备搬入。在增芯的光刻机到来之路上,光刻机到达白云机场后,仅用15分钟就完成了通关,再由卡车运至增芯项目工厂。
“一年内拿地、开工、装机,充分展现了敢为人先的‘增城速度’”。广州市增城区相关负责人表示,增城践行“随叫随到、说到做到、服务周到”的承诺,为增芯提供更加高效、便捷的“全生命周期”服务。作为广州半导体与集成电路的两极之一,增城相继布局增芯、越海、广东微技术工研院、中微广州等骨干项目,覆盖制造、封测、装备、材料和平台等关键环节。
当然,政府的助力只是产业发展的一方面,关键还是平台或者企业练好自身内功。“去年9月,西安电子科技大学广州第三代半导体创新中心中试线正式通线,项目建成后,将具备6-8英寸氮化镓晶圆生长、工艺制备、封测等全流程研发和技术服务能力。这个项目投入非常好,目前平台发挥的作用还不够。”马博说。
“围绕这个平台要培养半导体和集成电路行业的相关人才,而这就急需平台作支撑,并有充沛的高水平的师资。人才的支撑不是虚的,不是我需要这样的人,这样的人就能来,要依托这种有影响力的平台吸引一些人才。同时,政府也能给予人才相应的福利待遇。”马博表示,中试线如果跑通运行得非常好,将与企业合作来建生产线。
在产业政策、营商环境的加持下,一批批优秀人才也在涌向粤港澳大湾区创业。第十届中国创新创业大赛全国总决赛成长组全国总排名第七的光为科技,就是一个例子。“我们的创始人就是这个领域的顶尖人才,每年有大量的钱投给研发,还引进了大批海外的工程师、博士。”光为科技工作人员陈泽说。
如今,光为科技已成功研发和量产出拥有完全自主知识产权的世界领先的高速光芯片、3D感知光芯片以及超低能耗光模块等系列产品。“我们现在被国家超算中心列为了它的单一来源采购,也通过了一系列的验证测试。”在陈泽看来,广东整体的产业发展环境是很好的,“只要我们发展到它应允的条件,兑现是一定没有问题的”。(羊城晚报记者 许张超 孙晶)
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